單晶爐是一種在惰性氣體（氮?dú)狻⒑鉃橹鳎┉h(huán)境中，用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生長(zhǎng)無(wú)錯(cuò)位單晶的設(shè)備。硅料經(jīng)加工得到高純度多晶硅，將多晶硅置入單晶爐中，可生長(zhǎng)得到單晶硅。單晶爐制備單晶硅是半導(dǎo)體工藝的第一道工序，得到的單晶硅用來(lái)制造硅片，因此單晶爐在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中具有重要作用。
單晶硅可采用區(qū)熔法、直拉法進(jìn)行制備，直拉法可生長(zhǎng)高純度單晶硅，可應(yīng)用在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中，是主流制備工藝。全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)不斷發(fā)展壯大，單晶爐市場(chǎng)需求隨之不斷增長(zhǎng)，2021年，市場(chǎng)規(guī)模約為128億元。我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展極為迅速，晶圓廠建設(shè)興起，生產(chǎn)線不斷增多，拉動(dòng)市場(chǎng)對(duì)高純度單晶硅需求快速上升。在此背景下，我國(guó)單晶爐行業(yè)迎來(lái)發(fā)展機(jī)遇。
如上圖所示，單晶爐有著較為復(fù)雜的一套操作工藝流程，對(duì)坩堝提升旋轉(zhuǎn)與定位，爐體主副室升降與旋開(kāi)，熱屏的升降等各種操作都需要在觸摸屏上完成，同時(shí)單晶爐設(shè)備較高，操作人員需爬高一邊觀察設(shè)備情況一邊操作觸摸屏畫(huà)面，對(duì)此，一個(gè)可移動(dòng)的操作手柄顯得至關(guān)重要。
另外在移動(dòng)操作過(guò)程中，單晶硅都極其昂貴，在各工序操作中如有異常需要具有緊急停止功能，避免更大經(jīng)濟(jì)損失，所有的操作日志等都需要記錄下來(lái)形成歷史報(bào)表好供事后追溯。
同時(shí)單晶爐設(shè)備因?yàn)榭刂戚^為復(fù)雜，工序繁多，常使用大中型品牌PLC，西門(mén)子，倍福等，所以對(duì)于觸摸屏還需支持大中型PLC的標(biāo)簽通訊讓工程制作起來(lái)更加方便快捷。
1.基本規(guī)格：7"TFT，800×480像素，1677萬(wàn)真彩色；
2.標(biāo)準(zhǔn)配置：10個(gè)可編程功能鍵，1個(gè)三選擇開(kāi)關(guān)、1個(gè)急停開(kāi)關(guān)適用于安全性要求較高的場(chǎng)合；
3.實(shí)用設(shè)計(jì)：兼?zhèn)浒存I和觸控，應(yīng)用場(chǎng)合更廣，選擇更靈活；
4.使用耐久：移動(dòng)操作手持終端標(biāo)配5米電纜(10、15米可選),線纜可選柔性彈簧線，壽命長(zhǎng)；
5.簡(jiǎn)單安裝：支持VESA標(biāo)準(zhǔn)(75×75mm孔距)支架、掛架安裝，方便操作工攜帶。
1.手持屏產(chǎn)品設(shè)計(jì)，觸摸屏設(shè)備可自由移動(dòng)，方便調(diào)試；
2.自帶急停開(kāi)關(guān)，確保安全可靠；
3.觸摸屏面板配置多個(gè)可編程按鍵，靈活應(yīng)用，操作更加便利 ；
4.支持西門(mén)子，倍福等大中型PLC標(biāo)簽通訊協(xié)議，組態(tài)開(kāi)發(fā)效率更加高效；
5.支持操作日志記錄，數(shù)據(jù)采樣，生成報(bào)表曲線，支持導(dǎo)出數(shù)據(jù)表格文件。
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